ＹＰＩ−ＭＸ−FOUP300mmウェーハ表面異物検査装置
- 高機能 ウェーハ表面検査装置。表面パーティクルスキャナ。
YPI-MX/YPI-MX-DCの性能で、FOUP自動搬送が可能。
GEMオンラインE84オプションを追加可能。
装置仕様
- ワークサイズ
- φ300mmウェハ
- 最小検出粒径
- ０.１μｍ
- 使用レーザー・検出ユニット
- ４０５ｎｍ(青色レーザー)及びフォトマル(ＰＭＴ)
- スキャン方式
- 螺旋スキャン
- ワーク供給方法
- 自動搬送
- 装置サイズ(幅×奥行×高さ)
- Ｗ２，１４３×Ｄ１,３４０×Ｈ１,８５７(ｍｍ) パトライト別
- 装置重量
- 約１,１００ｋｇ
- 電源
- ＡＣ１００Ｖ ２０Ａ
バナースペース
株式会社 YGK
〒400-0311
山梨県南アルプス市曲輪田595-2
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FAX 055-284-6867