ダイシング(テープフレーム)
ウエハ表面パーティクルスキャナ
YPI-MX TF FOUP
ダイシング（テープフレーム）ウエハの高感度異物測定
後工程の研究開発機として最適です。
製品仕様
| 型式 | YPI-MX TF FOUP |
|---|---|
| 搬送タイプ | 自動搬送 |
| 外観寸法 | (W)2330 x (D)1400 x (H)1820mm （１ FOUP） |
| (W)2520 x (D)1807 x (H)2007mm （Dual FOUP） | |
| 用力（電源） | AC200V |
| 用力（真空） | -70kPa（ウエハ吸着） -60kPa（FOUP用） -40kPa（排気） |
| 用力 (圧空) | 0.6MPa（FOUP用） |
| 対応ウエハ | テープフレーム付ウエハ |
| ウエハサイズ | テープフレーム付12インチウエハ |