ガラス基板検査装置
XGS

ガラス基板研磨確認検査装置 
XGS

ガラス基板のキズ検査に最適な検査装置です。今まで可視化できなかったキズや欠陥を可視化可能です。光散乱強度分布マップの他、パーティクル検査も可能な装置です。

製品仕様

型式XGS
搬送タイプマニュアル搬送(セミオート)
自動搬送
外観寸法マニュアル搬送
(W)1150 x (D)1150 x (H)1920mm
自動搬送
用力(電源)AC200V
用力(真空)-70kPa
-40kPa
用力  (圧空)0.3MPa
ウエハサイズ4・6・8インチ