SiCウエハ量産ライン用パーティクル検査装置です。
SiCウエハでの高感度測定に。
研究開発や洗浄確認に最適です。

SiCウエハ量産ライン用パーティクル検査装置です。
SiCウエハでの高感度測定に。
プロセスモニターや洗浄確認に最適です。

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プロセスモニターや洗浄確認に最適です。