ガラス基板検査装置
XGS

ガラス基板のキズ検査に最適な検査装置です。今まで可視化できなかったキズや欠陥を可視化可能です。光散乱強度分布マップの他、パーティクル検査も可能な装置です。

製品仕様
型式 | XGS |
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搬送タイプ | マニュアル搬送(セミオート) 自動搬送 |
外観寸法 | マニュアル搬送 (W)1150 x (D)1150 x (H)1920mm 自動搬送 |
用力(電源) | AC200V |
用力(真空) | -70kPa -40kPa |
用力 (圧空) | 0.3MPa |
ウエハサイズ | 4・6・8インチ |