SiC/GaNウエハ表面パーティクルスキャナ
YPI-MX-DC SMIF
SiCウエハ量産ライン用パーティクル検査装置
SiCウエハでの高感度測定に。
プロセスモニターや洗浄確認に最適です。
製品仕様
| 型式 | YPI-MX-DC SMIF |
|---|---|
| 搬送タイプ | 自動搬送 |
| 外観寸法 | (W)1530 x (D)1300 x (H)1901mm |
| 用力（電源） | AC200V |
| 用力（真空） | -70kPa（ウエハ吸着） -40kPa（排気） |
| 用力（圧空） | 0.3MPa |
| 対応ウエハ | シリコン、SiC、GaN |
| ウエハサイズ | 8インチ その他サイズはご相談ください。 |