ダイシング(テープフレーム)
ウエハ表面パーティクルスキャナ
YPI-MX TF
ダイシング（テープフレーム）ウエハの高感度異物測定
後工程の研究開発機として最適です。
製品仕様
| 型式 | YPI-MX TF |
|---|---|
| 搬送タイプ | マニュアル搬送タイプ（セミオート） |
| 外観寸法 | (W)1220 x (D)1220 x (H)1810mm |
| 用力（電源） | AC200V |
| 用力（真空） | -70kPa -40kPa |
| 対応ウエハ | シリコンウエハ及びテープフレーム付ウエハ |
| ウエハサイズ | 通常ウエハ 3～12インチ テープフレーム付ウエハ 6～12インチ 測定ホルダの段取替えが必要です。 |
※ その他搬送サイズはご相談ください。