透明ウエハ表面パーティクルスキャナ
YPI-MX

製品仕様

型式	YPI-MX
搬送タイプ	自動搬送
外観寸法	(W)1480 x (D)1220 x (H)1810mm
用力（電源）	AC200V
用力（真空）	-70kPa -40kPa
対応ウエハ	シリコン、透明ウエハ（ガラス、LT/LN、石英、サファイア等）
ウエハサイズ	2～8インチ 搬送サイズはご相談ください。